Halbleiter / Elektronik
Halbleiter werden in integrierten Schaltungen, Unterhaltungselektronik, Kommunikationssystemen, Photovoltaikanlagen, Beleuchtung, Hochleistungselektronik und weiteren Bereichen eingesetzt. Sowohl aus technologischer als auch aus wirtschaftlicher Sicht ist die Bedeutung von Halbleitern enorm. Zu den gängigen Halbleitermaterialien zählen Silizium, Germanium, Galliumarsenid usw., wobei Silizium in der Anwendung verschiedenster Halbleitermaterialien die größte Rolle spielt.
Oblaten-Ritzmaschine ☞
Das Ritzen von Siliziumwafern ist der erste Schritt im Montageprozess der Halbleiterfertigung und ein wichtiges Glied in der Kette. Dabei wird der Wafer in einzelne Chips für die nachfolgenden Chip-Bonding-, Anschluss-Bonding- und Testvorgänge unterteilt.
Wafersortierer ☞
Der Wafer-Sorter kann die produzierten Wafer nach Größenparametern wie Durchmesser oder Dicke klassifizieren und gruppieren, um den Produktionsanforderungen verschiedener Produkte oder Prozesse gerecht zu werden; gleichzeitig werden defekte Wafer aussortiert, um sicherzustellen, dass nur qualifizierte Wafer in den nächsten Verarbeitungs- und Testschritt gelangen.
Prüfgeräte ☞
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen durchlaufen die Wafer bis zum fertigen Produkt Dutzende, wenn nicht Hunderte von Prozessschritten. Um eine qualifizierte, stabile und zuverlässige Produktleistung sowie eine hohe Ausbeute zu gewährleisten, müssen je nach Produktionssituation des jeweiligen Produkts strenge, spezifische Anforderungen an alle Prozessschritte gestellt werden. Daher müssen im Produktionsprozess, beginnend mit der Halbleiterprozessprüfung, entsprechende Systeme und präzise Überwachungsmaßnahmen etabliert werden.