Halbleiter / Elektronik
Halbleiter werden in integrierten Schaltkreisen, Unterhaltungselektronik, Kommunikationssystemen, Photovoltaik, Beleuchtung, Hochleistungsumwandlung und anderen Bereichen eingesetzt. Ob aus technologischer oder wirtschaftlicher Sicht – die Bedeutung von Halbleitern ist enorm. Zu den gängigen Halbleitermaterialien gehören Silizium, Germanium und Galliumarsenid. Silizium ist das einflussreichste Halbleitermaterial in der Anwendung verschiedener Halbleitermaterialien.
Wafer-Ritzmaschine ☞
Das Ritzen von Siliziumwafern ist der erste Schritt im „Back-End“-Montageprozess und stellt ein wichtiges Bindeglied in der Halbleiterfertigung dar. Bei diesem Prozess wird der Wafer in einzelne Chips für das anschließende Chip-Bonding, Lead-Bonding und Testvorgänge unterteilt.
Wafersortierer ☞
Der Wafersortierer kann die produzierten Wafer nach Größenparametern wie Durchmesser oder Dicke klassifizieren und gruppieren, um den Produktionsanforderungen verschiedener Produkte oder Prozesse gerecht zu werden. Gleichzeitig werden fehlerhafte Wafer aussortiert, um sicherzustellen, dass nur qualifizierte Wafer in den nächsten Verarbeitungs- und Testschritt gelangen.
Prüfgeräte ☞
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen werden vom Halbleiterwafer bis zum fertigen Produkt Dutzende oder sogar Hunderte von Prozessen durchlaufen. Um eine qualifizierte, stabile und zuverlässige Produktleistung sowie eine hohe Ausbeute zu gewährleisten, müssen je nach Produktionssituation der verschiedenen Produkte strenge, spezifische Anforderungen an alle Prozessschritte gestellt werden. Daher müssen im Produktionsprozess entsprechende Systeme und präzise Überwachungsmaßnahmen etabliert werden, beginnend mit der Prozessprüfung der Halbleiter.