Halbleiter / Elektronik
Halbleiter werden in integrierten Schaltkreisen, Unterhaltungselektronik, Kommunikationssystemen, Photovoltaik-Stromerzeugung, Beleuchtung, Hochleistungsstromumwandlung und anderen Bereichen eingesetzt. Ob aus technologischer oder wirtschaftlicher Sicht, die Bedeutung von Halbleitern ist enorm. Zu den gängigen Halbleitermaterialien gehören Silizium, Germanium, Galliumarsenid usw., wobei Silizium das einflussreichste Material für die Anwendung verschiedener Halbleitermaterialien ist.
Wafer-Ritzmaschine ☞
Das Ritzen von Siliziumwafern ist der erste Schritt im „Back-End“-Montageprozess und ein wichtiges Glied in der Halbleiterfertigung. Bei diesem Verfahren wird der Wafer für das anschließende Chipbonden, Bleibonden und Testvorgänge in einzelne Chips unterteilt.
Wafersortierer ☞
Der Wafersortierer kann die produzierten Wafer nach ihren Größenparametern wie Durchmesser oder Dicke klassifizieren und gruppieren, um den Produktionsanforderungen verschiedener Produkte oder Prozesse gerecht zu werden; Gleichzeitig werden fehlerhafte Wafer überprüft, um sicherzustellen, dass nur qualifizierte Wafer in den nächsten Verarbeitungs- und Testschritt gelangen.
Prüfgeräte ☞
Bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen müssen Dutzende oder sogar Hunderte von Prozessen durchlaufen werden, vom einzelnen Halbleiterwafer bis zum Endprodukt. Um sicherzustellen, dass die Produktleistung qualifiziert, stabil und zuverlässig ist und eine hohe Ausbeute aufweist, müssen je nach Produktionssituation verschiedener Produkte strenge spezifische Anforderungen für alle Prozessschritte gelten. Daher müssen entsprechende Systeme und präzise Überwachungsmaßnahmen im Produktionsprozess etabliert werden, beginnend bereits bei der Halbleiterprozessinspektion.